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建設(shè)單位名稱

南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

聯(lián)系人

于峰

地理位置

江西省南昌市南昌高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)天祥大道699號(hào)兆和光電科技園

項(xiàng)目名稱

南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司年產(chǎn)200臺(tái)MOCVD設(shè)備項(xiàng)目

項(xiàng)目簡(jiǎn)介

MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition)設(shè)備，即金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積設(shè)備，是化合物半導(dǎo)體體外延材料研究和生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備，特別適合化合物半導(dǎo)體功能結(jié)構(gòu)材料的規(guī)?；I(yè)生產(chǎn)，是制備氮化鎵基發(fā)光二極管和激光器外延片的關(guān)鍵設(shè)備，同時(shí)也是制備砷化鎵、磷化銦等光電子材料和器件的主流設(shè)備，是其他半導(dǎo)體設(shè)備所無法替代的核心半導(dǎo)體設(shè)備，是當(dāng)今世界上生產(chǎn)半導(dǎo)體光電器件和微波器件材料的主流設(shè)備，是當(dāng)今信息產(chǎn)業(yè)發(fā)不可缺少的戰(zhàn)略性高技術(shù)半導(dǎo)體設(shè)備。

中微公司正在開發(fā)MOCVD是生產(chǎn)LED芯片最核心的設(shè)備，占生產(chǎn)線設(shè)備投資60%以上。LED芯片受電視背光源和半導(dǎo)體照明需求驅(qū)動(dòng)，對(duì)MOCVD設(shè)備的需求持續(xù)攀升。中國(guó)是最大的MOCVD市場(chǎng)，約占全球市場(chǎng)的40%，但生產(chǎn)用MOCVD產(chǎn)品被德國(guó)Aixtron公司(德國(guó)愛思強(qiáng))和美國(guó)Veeco公司(美國(guó)維易科)兩家廠商壟斷，生產(chǎn)MOCVD設(shè)備占據(jù)了全球90%以上的市場(chǎng)份額。

目前中微公司的MOCVD設(shè)備已在國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的生產(chǎn)線上進(jìn)行大規(guī)模量產(chǎn)，它們是全球大部分LED芯片的生產(chǎn)制造商，包括三安光電和華燦光電。

項(xiàng)目負(fù)責(zé)人

譚松

報(bào)告編制人

譚松、楊昇、彭少波、姚東陽(yáng)

現(xiàn)場(chǎng)調(diào)查人員

楊昇、譚松

建設(shè)單位陪同人員

于峰

時(shí)間

2019.08.2

采樣人員

楊昇、譚松

時(shí)間

2019.08.12-2019.08.14

檢測(cè)人員

實(shí)驗(yàn)室人員

時(shí)間

2019.08.12-2019.08.14

建設(shè)項(xiàng)目存在的職業(yè)病危害因素及檢測(cè)結(jié)果

通過工程分析、資料查詢并結(jié)合本項(xiàng)目各作業(yè)崗位職業(yè)病危害接觸程度、接觸方式、使用量及危害因素危害性等因素綜合分析，確定本項(xiàng)目存在的主要職業(yè)病危害因素為：工頻電場(chǎng)等職業(yè)病危害因素。

所檢測(cè)點(diǎn)項(xiàng)目的職業(yè)病危害因素強(qiáng)度均符合《工作場(chǎng)所有害因素職業(yè)接觸限值   第2部分：物理因素》(GBZ 2.2-2007)、《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》(GBZ1-2010)、《建筑照明設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)》(GB50034-2013)的要求。

評(píng)價(jià)結(jié)論

與建議

結(jié)論：

本項(xiàng)目生產(chǎn)過程中可能存在的主要職業(yè)病危害因素有工頻電場(chǎng)等職業(yè)病危害因素。

根據(jù)《國(guó)家安全監(jiān)管總局關(guān)于公布建設(shè)項(xiàng)目職業(yè)病危害風(fēng)險(xiǎn)分類管理目錄（2012年版）的通知》（安監(jiān)總安健〔2012〕73號(hào)）規(guī)定，確定本項(xiàng)目行業(yè)分類為專用設(shè)備制造(電子工業(yè)專用設(shè)備制造)，根據(jù)行業(yè)分類，為“職業(yè)病危害較重的建設(shè)項(xiàng)目”，但結(jié)合本項(xiàng)目?jī)H涉及專用設(shè)備各部件的組裝和測(cè)試特性，不涉及設(shè)備及各部件生產(chǎn)的特點(diǎn)，且不使用化學(xué)用品及試劑，作業(yè)強(qiáng)度較低，產(chǎn)生的物理危害因素較低，故將職業(yè)危害項(xiàng)目種類進(jìn)行降級(jí)，確定本項(xiàng)目為“職業(yè)病危害一般的建設(shè)項(xiàng)目”。

建議：

（1）針對(duì)噪聲危害治理的建議

（2）針對(duì)職業(yè)衛(wèi)生管理的建議

（3）持續(xù)改進(jìn)性建議

（4）預(yù)防性告知

專家組評(píng)審

意見

2019年08月28日，江南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司在南昌市召開評(píng)審會(huì)議，會(huì)議邀請(qǐng)金莉、祝剛、陳紹壽3位位職業(yè)衛(wèi)生專家組成評(píng)審組。專家組評(píng)審意見如下：

（一）建設(shè)項(xiàng)目概況清晰；

（二）《評(píng)價(jià)報(bào)告》對(duì)職業(yè)病防護(hù)設(shè)施設(shè)計(jì)執(zhí)行情況分析、評(píng)價(jià)全面；

（三）《評(píng)價(jià)報(bào)告》對(duì)職業(yè)病防護(hù)設(shè)施檢測(cè)和運(yùn)行情況分析、評(píng)價(jià)清晰；

（四）《評(píng)價(jià)報(bào)告》工作場(chǎng)所職業(yè)病危害因素檢測(cè)分析、評(píng)價(jià)正確；

（五）《評(píng)價(jià)報(bào)告》對(duì)工作場(chǎng)所職業(yè)病危害因素日常監(jiān)測(cè)情況分析、評(píng)價(jià)正確；

（六）《評(píng)價(jià)報(bào)告》對(duì)職業(yè)病危害因素對(duì)勞動(dòng)者健康危害程度分析、評(píng)價(jià)正確；

（七）《評(píng)價(jià)報(bào)告》對(duì)職業(yè)病危害防治管理措施分析、評(píng)價(jià)合理；

（八）《評(píng)價(jià)報(bào)告》對(duì)職業(yè)健康監(jiān)護(hù)狀況分析、評(píng)價(jià)正確；

（九）《評(píng)價(jià)報(bào)告》對(duì)職業(yè)病危害事故應(yīng)急救援和控制措施分析、評(píng)價(jià)基本正確；

（十）《評(píng)價(jià)報(bào)告》對(duì)正常生產(chǎn)后建設(shè)項(xiàng)目職業(yè)病防治效果預(yù)期分析、評(píng)價(jià)正確；

（十一）《評(píng)價(jià)報(bào)告》提出的職業(yè)病危害防護(hù)補(bǔ)充措施及建議合理；

（十二）評(píng)價(jià)結(jié)論正確。

（十三）《評(píng)價(jià)報(bào)告》修改建議：

（1）完善生產(chǎn)工藝先進(jìn)性說明；

（2）細(xì)化潔凈生產(chǎn)區(qū)通風(fēng)參數(shù)分析；

（3）評(píng)審、驗(yàn)收組提出的其他意見。